标准名称：GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 文件格式：PDF 标准大小：230.7 KB GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度...